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中機(jī)半導(dǎo)體取得碳化硅襯底減薄用2000目減薄砂輪制備方法專(zhuān)利:砂輪

國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局信息顯示，中機(jī)半導(dǎo)體材料（深圳）有限公司取得一項(xiàng)名為“一種用于碳化硅襯底減薄用的2000目減薄砂輪的制備方法”的專(zhuān)利，授權(quán)公告號(hào)CN118905965B，申請(qǐng)日期為2024年9月砂輪。